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日本SMC新品高真空元件 對應300mm晶片 平行密封型門閥 XGTP 壽命長:300萬次(常溫時) 發塵量:減少到1/5以下(與從前的產品相比) 維護性提高 易于更換波紋管 可從頂端更換門組件(訂制規格) 安全對策 采用機械式帶端鎖機構
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